سیلوکسانها را میتوان از طریق روشهای مختلفی از جمله روشهای شیمیایی صنعتی و سنتز آزمایشگاهی در مقیاس کوچک- تهیه کرد. برای مثال، سیلانها را میتوان از سیلیکاتها یا سایر ترکیبات حاوی سیلیکون از طریق واکنش مستقیم سیلیکون با هیدروژن یا تحت تأثیر کاتالیزورهای خاص تولید کرد. سیلان ها به دلیل خواص منحصر به فرد خود کاربردهای گسترده ای در بسیاری از زمینه ها از جمله صنعت نیمه هادی، تولید سرامیک و فناوری پوشش دارند.
در صنعت نیمه هادی، سیلان ها به عنوان ماده خام اولیه برای تولید{0}کریستال های سیلیکونی با خلوص بالا، که مواد اساسی برای ساخت مدارهای مجتمع و ریزپردازنده ها هستند، استفاده می شود. علاوه بر این، سیلان ها نیز به عنوان ناخالصی برای اصلاح خواص الکتریکی مواد سیلیکونی با معرفی عناصر ناخالصی خاص استفاده می شوند.
در زمینه های سرامیک و پوشش، سیلان ها به عنوان پیش ساز یا افزودنی برای بهبود خواص مواد سرامیکی مانند افزایش استحکام، بهبود مقاومت در برابر خوردگی یا تنظیم خواص الکتریکی و حرارتی مواد استفاده می شود. همزمان، با استفاده از واکنش پذیری شیمیایی سیلان ها، می توان پوشش هایی با عملکردهای خاص مانند پوشش های ضد آب، مقاوم در برابر خوردگی{1} یا رسانا تهیه کرد.
